原子發(fā)射光譜儀上的CCD或ICCD是什么,作用是什么?原子發(fā)射光譜儀廠家為您簡(jiǎn)單的介紹一下。
固態(tài)成像器件
固態(tài)成像器件是新一代的光電轉(zhuǎn)換檢測(cè)器,它是一類以半導(dǎo)體硅片為基材的光敏元件制成的多元陣列集成電路式的焦平面檢測(cè)器,屬于這一類的成像器件,目前較成熟的主要是電荷注入器件(CID)、電荷耦合器件(CCD)。
Denton與其同事們是將電荷耦合與電荷注入檢測(cè)器(Charge-Coupled Detector and Charge-Injection Detector,簡(jiǎn)稱CCD與CID)用于原子光譜分析的主要推動(dòng)者。在這兩種裝置中,由光子產(chǎn)生的電荷被收集并儲(chǔ)存在金屬-氧化物-半導(dǎo)體(MOS)電容器中,從而可以準(zhǔn)確地進(jìn)行象素尋址而滯后極微。這兩種裝置具有隨機(jī)或準(zhǔn)隨機(jī)象素尋址功能的二維檢測(cè)器?梢詫⒁粋(gè)CCD看作是許多個(gè)光電檢測(cè)模擬移位寄存器。在光子產(chǎn)生的電荷被貯存起來(lái)之后,它們近水平方向被一行一行地通過一個(gè)高速移位寄存器記錄到一個(gè)前置放大器上。最后得到的信號(hào)被貯存在計(jì)算機(jī)里。
CCD器件的整個(gè)工作過程是一種電荷耦合過程,因此這類器件叫電荷耦合器件。對(duì)于CCD器件,當(dāng)一個(gè)或多個(gè)檢測(cè)器的象素被某一強(qiáng)光譜線飽和時(shí),便會(huì)產(chǎn)生溢流現(xiàn)象。即光子引發(fā)的電荷充滿該象素,并流入相鄰的象素,損壞該過飽和象素及其相鄰象素的分析正確性,并且需要較長(zhǎng)時(shí)間才能便溢流的電荷消失。為了解決溢流問題,應(yīng)用于原子光譜分析的CCD器件,在設(shè)計(jì)過程中必須進(jìn)行改進(jìn),例如:進(jìn)行分段構(gòu)成分段式電荷耦合器件(SCD),或在象表上加裝溢流門,并結(jié)合自動(dòng)積分技術(shù)等。
CID是一種電荷注入器件(Charge-Injected Device),其基本結(jié)構(gòu)與CCD相似,也是一種MOS結(jié)構(gòu),當(dāng)柵極上加上電壓時(shí),表面形成少數(shù)載流子(電子)的勢(shì)阱,入射光子在勢(shì)阱鄰近被吸收時(shí),產(chǎn)生的電子被收集在勢(shì)阱里,其積分過程與CCD一樣。
CID與CCD的主要區(qū)別在于讀出過程,在CCD中,信號(hào)電荷必須經(jīng)過轉(zhuǎn)移,才能讀出,信號(hào)一經(jīng)讀取即刻消失。而在CID中,信號(hào)電荷不用轉(zhuǎn)移,是直接注入體內(nèi)形成電流來(lái)讀出的。即每當(dāng)積分結(jié)束時(shí),去掉柵極上的電壓,存貯在勢(shì)阱中的電荷少數(shù)載流子(電子)被注入到體內(nèi),從而在外電路中引起信號(hào)電流,這種讀出方式稱為非破壞性讀。∟on-Destructive Read Out),簡(jiǎn)稱:NDRO。CID的NDRO特性使它具有優(yōu)化指定波長(zhǎng)處的信噪比(S/N)的功能。
CID是電荷注入式固體檢測(cè)器(主要熱電的在用)
CCD是電荷偶合固體檢測(cè)器(Varian,Leman,SPECTRO都用的這個(gè))
SCD是CCD的一種,分成小塊,形成陣列(PE獨(dú)有)
它們的區(qū)別主要是電荷的讀取方式不一樣而已,上面也已經(jīng)說得很詳細(xì)了
量子效率從光電效應(yīng)上講是指被光照射后,在半導(dǎo)體硅片上產(chǎn)生的電子數(shù)和入射的光子數(shù)之比值乘以100%。
因?yàn)樵跈z測(cè)器的前期過程就是一個(gè)光電轉(zhuǎn)換的過程:分光后光子照射到檢測(cè)器上,發(fā)生了光電轉(zhuǎn)換效應(yīng),產(chǎn)生的電荷被收集并儲(chǔ)存在金屬-氧化物-半導(dǎo)(MOS)電容器中。電荷被貯存起來(lái)之后,它們通過一個(gè)高速移位寄存器記錄到一個(gè)前置放大器上,最后得到的信號(hào)就被貯存在計(jì)算機(jī)里。
所以量子效率和暗電流(無(wú)光照條件下,檢測(cè)器產(chǎn)生的電流,即相當(dāng)于背景噪音),和檢測(cè)器的靈敏度有很大的關(guān)系
ICCD工作原理
ICCD(Intensified CCD),帶有像增強(qiáng)功能的CCD相機(jī),一般由像增強(qiáng)器和CCD相機(jī)組成。像增強(qiáng)器由光陰極、微通道板、熒光屏組成。在熒光屏-微通道板、微通道板、微通道板 -熒光屏之間存在高電壓。光子打到光陰極后產(chǎn)生光電子,光電子進(jìn)入微通道板后被倍增,放大后的電子束打在熒光屏上成像。此時(shí)的像為增強(qiáng)后的影像,然后經(jīng)光纖錐耦合到CCD上對(duì)像進(jìn)行記錄。