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將ICP光譜儀的設(shè)定編輯好之后，就能進(jìn)行點(diǎn)火測(cè)量了，點(diǎn)擊System/SetupDevices之后，設(shè)置好合適的等離子氣體流量，一般為10L/min、輔助氣流量為1L/min，霧化器氣流量為1L/min，設(shè)定完點(diǎn)擊Apply 進(jìn)行沖洗氣路2分鐘。在矩管圖中看氣流指示都?xì)w零以后，點(diǎn)擊Plasma點(diǎn)燃等離子體，點(diǎn)火后點(diǎn)擊Pump啟動(dòng)進(jìn)樣泵。在進(jìn)樣前吸入蒸餾水或空基體溶液5∽15分鐘，以加熱和平衡組成成分。

1） 定量測(cè)量
分析線的定義：做定量測(cè)量前，必須先做分析線的定義。在 Method的Line Definition窗口中，點(diǎn)擊Method/Analysis/SingleMeasurements測(cè)量一個(gè)高濃度的標(biāo)樣后，確定分析線的峰高、背景、積分范圍等相關(guān)定量參數(shù)�；蛘{(diào)入已保存的光譜圖定義以上參數(shù)。
然后點(diǎn)擊Smart Analyzer Vision工作站左邊工具箱中的Analysis按鈕進(jìn)入分析測(cè)量窗口。如果是用自動(dòng)進(jìn)樣器進(jìn)樣，在自動(dòng)進(jìn)樣器窗口中點(diǎn)擊Automate/Executeprogram(F5)，按自動(dòng)進(jìn)樣器的編輯方法進(jìn)樣。若要停止進(jìn)樣，點(diǎn)擊Automate/AbortProgram（Esc）。

這些都是快捷鍵操作的說(shuō)明，如果手動(dòng)操作，就按照下面的方式。
測(cè)量樣品：把吸樣管放入要測(cè)的樣品中，若測(cè)量一次點(diǎn)擊Analysis/Single Measurements，若測(cè)量多次點(diǎn)擊Analysis/Multiple Measurements，測(cè)量完以后，點(diǎn)擊Analysis/SampleFinish。

測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)樣品：將吸樣管放入要測(cè)的標(biāo)樣中，點(diǎn)擊Analysis/MethodMeasurements，選擇要測(cè)的標(biāo)樣名，點(diǎn)擊Measure，測(cè)量完成后，點(diǎn)擊Analysis/Sample Finish。然后按順序測(cè)完標(biāo)準(zhǔn)系列，再點(diǎn)擊Calculate，回到Method窗口，得到工作曲線。如果不能得到工作曲線，是由于軟件計(jì)算出的工作曲線的相關(guān)系數(shù)小于設(shè)定值。

2） 定性測(cè)量
點(diǎn)擊Smart Analyzer Vision工作站左邊工具箱中的Method按鈕，編輯一個(gè)要定性元素（或全譜定性）的方法，然后點(diǎn)擊spectra按鈕進(jìn)入光譜測(cè)量窗口。把進(jìn)樣管放入要檢測(cè)的樣品中，點(diǎn)擊spectra/Single Measurements，輸入要檢測(cè)的樣品名稱，測(cè)量完成后，點(diǎn)擊spectra/Sample Finish。一般要測(cè)定樣品空白和樣品的光譜圖，然后作比較。