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電感耦合等離子體光譜儀檢驗(yàn)過程主要分三步，即激發(fā)、分光和檢測。
1）激發(fā)：利用激發(fā)光源使樣品蒸發(fā)氣化，離解或分解為原子狀態(tài)或者電離成離子狀態(tài)，原子及離子在光源中激發(fā)發(fā)光；
2）分光：利用光譜儀的光學(xué)元件將光源發(fā)射的光分解為按波長及級數(shù)分布的光譜；
3）檢測：利用光電器元件（光電倍增管，CCD，CID等）檢測光譜，按所測得的光譜波長對試樣進(jìn)行定性分析，或按發(fā)射光強(qiáng)度進(jìn)行定量分析，zui終得出樣品中各元素的百分含量。
電感耦合等離子體光譜儀自身價(jià)格昂貴，使用頻率高，儀器故障時(shí)維修費(fèi)用少則幾千，多則幾萬，請廠家上門維修需較長的時(shí)間，影響化驗(yàn)分析工作。筆者經(jīng)過二十多年對多臺ICP的維護(hù)、維修，發(fā)現(xiàn)99%以上的故障是由于維保工作不到位引發(fā)的。因此，加強(qiáng)維護(hù)、細(xì)化維保ICP零部件工作是延長ICP工作壽命、降低儀器故障的關(guān)鍵。
電感耦合等離子體光譜儀ICP-AES法可以對固、液、氣態(tài)樣品直接進(jìn)行分析。進(jìn)樣技術(shù)有液體霧化進(jìn)樣、氣體直接進(jìn)樣、固體超微粒氣溶膠進(jìn)樣。對于液體樣品分析的優(yōu)越性是明顯的，對于固體樣品的分析，所需樣品前處理也很少，只需將樣品加以溶解制成一定濃度的溶液即可。通過溶解制成溶液再行分析，不僅可以消除樣品結(jié)構(gòu)干擾和非均勻性，同時(shí)也有利于標(biāo)準(zhǔn)樣品的制備。分析速度快：多道儀器可同時(shí)測定30～50個(gè)元素，單道掃描儀器10分鐘內(nèi)也可測定15個(gè)以上元素。而且已可實(shí)現(xiàn)全譜自動測定。可測定的元素之多，大概比任何類似的分析方法都要多，可以肯定目前還沒有一種同時(shí)分析方法可以與之相匹敵。
